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第305章 光刻机即将突破

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国内的供应链其实并非一无是处,在很多细分领域的周边零部件上,国内企业早就已经具备了达到国际标准的能力,他们之前只是苦于没有核心三大件,造不出整机而已。

如今,核心凑齐,国家直接出手调配。全国各地最顶尖的供应链零部件,开始源源不断地汇聚到魔都张江高科技园区的上微电子总部。

在国家队的总工程师贺建国的带领下,整个上微电子进入了全封闭的攻坚状态。他们将天宇集团提供的三大件,与来自国内顶级供应链的其他零部件,进行着极其复杂的物理拼装和底层软件打通。

这一干,就是大半年。

时间回到现在,2017年8月。

郑州,天宇集团总部大楼,董事长办公室。

陈立峰将一份红色封皮的绝密文件放在了许晨的办公桌上,他的呼吸有些急促,眼神中透着难以掩饰的激动。

“许总,上面传来的消息。”陈立峰压低了声音,汇报最新的进度,“上微电子那边的整机集成,已经到了最后一步了。”

许晨翻文件的手微微一顿,抬起头看向陈立峰:“具体进度到哪了?”

“硬件的物理组装已经全部完成。”陈立峰如实汇报道,“长天的物镜、天卓的工作台、天虹的光源,以及上面调配过来的三百多个国产核心辅助系统,已经全部接驳完毕。目前,贺建国总工程师正带领团队进行最后一步的软硬件底层协议握手,以及光路的极限微调。”

陈立峰深吸了一口气:“贺总工说,这几天只要光路对齐的偏差值修正到容错区间内,就可以正式开始‘初光测试’(FirSt Light),也就是第一次真正的晶圆曝光了。上面负责专项的大佬目前也已经在魔都坐镇了。”

许晨静静地听完,目光落在那份绝密文件上。

到了这一步,就意味着这台汇聚了华国最顶尖制造能力、承载着无数半导体人希望的65纳米干式DUV光刻机,已经是一个完整的生命体了。它现在只差最后一口气,就能真正苏醒。

“这就是临门一脚了。”许晨站起身,走到落地窗前。

“是的,一旦初光测试的数据能稳定在65纳米的线宽内,就证明整机的机械协同和光学折射没有任何问题,华国半导体设备的腰杆子,就真正挺直了。”陈立峰在一旁说道。

65nm干式DUV光刻机。

在后世那些动辄7nm、5nm甚至3nm的EUV(极紫外)光刻机面前,65nm


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